FP-1地板振动平台- K光电隔离器

这段视频显示了埃里克•龙格的工程总监- K技术,描述了FP-1楼平台。- K通常使用这个FP-1楼平台系统,它包含一个巨大重型钢板平台以及两个或三个- K SM-1振动光电隔离器和光电隔离器支架连接平台。FP-1楼平台是为了隔离低频振动sem和显微镜。- K负刚度的技术可以帮助解决频率很低的问题。

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