2009年6月11日
Nanometrics合并(纳斯达克:纳米),先进过程控制计量系统的领先供应商主要用于制造半导体、太阳能光伏发电和高亮度发光二极管,今天宣布一份地图册计量系统的后续订单配备NanoCD能力。系统是适合生产在今年第二季度领先的硬盘制造商作为计划的一部分,Nanometrics”技术支持膜厚度和光学临界尺寸(OCD)计量生产先进的磁性。
NanoCD的添加功能,我们已经看到我们的客户扩大Atlas系统功能增加过程监控与额外的计量和用例步骤之前不可能与遗留技术,”评论乐Avadhany,副总裁在Nanometrics应用程序。“我们的客户是专门部署我们的阿特拉斯系统监控关键流程配置文件参数,其中许多只能观察到无损强迫症技术。我们强迫症技术越来越被部署到取代更昂贵,较慢的和破坏性的横截面扫描电镜技术。”
Nanometrics已经部署了强迫症的解决方案在每一段的工厂包括光刻、腐蚀、化学机械抛光(CMP)和薄膜沉积,以及所有设备类型包括逻辑,DRAM,闪存,磁正面。