2011年1月27日
帮助全球半导体行业准备22纳米技术节点和450毫米晶圆的使用,密封产品供应商应用海豹北美,inc .)正在引领一个新的半标准工作组开发第一个实质性标准perfluoroelastomer (FFKM) o形环和密封的元素。
这些组件被广泛使用在半导体制造设备的超净环境创建和维护ICs。2020欧洲杯下注官网
总的可用半导体级密封市场超过4亿美元,据Dalia Vernikovsky f51 - 0200半标准工作组主席和总裁和总经理应用海豹北美。
f51 - 0200特遣部队在1月21日举行了启动会议。最初的成员组专业人员行业领袖包括IBM、英特尔、微米和材料以及密封制造商应用海豹北美、日本Valqua产业和派克汉尼汾公司。
“我们的宪章是教育行业和消除o形环的误用,导致显著的成本和停机时间,“Vernikovsky说。“定义密封标准行业可以节省大量的时间和金钱,因为海豹是如此普遍,从超纯水系统和化学处理几乎所有的沉积,蚀刻和清洁的步骤。”
在其第一次会议,专题小组成员同意集团的早期关注发展中标准:
- 指定的重要参数来考虑这些标准和如何衡量,这是相当具有挑战性由于各种各样的化学和物理性质的海豹和半导体制造过程
- 评级的适用性海豹来创建一个标准的测量方式成功的密封性能
需要最新的标准来定义今天半导体级密封制造集成电路所需的特征。大多数密封技术用于晶圆厂的最初在重工业为不相关的应用程序开发,集成电路生产不敏感。随着半导体工业的进步,因素从狭缝的设计阀门和盖茨海豹的兼容下一代处理材料必须检查来评估他们的能力,以适应小设备几何图形和更大的晶圆直径。欧洲杯足球竞彩
目前,唯一的行业标准半导体级密封是利用弹性密封技术的一般指导方针。Vernikovsky牵头发展1999年,导致半2000年发布的指导方针。
来源:http://www.appliedsealsna.com/