2005年10月4日
使用它们开发的新精密粘合过程，宾夕法尼亚州研究人员设计和制造了微小的新型压电微致动器 - 仅基于耦合具有现有微机械技术的市售材料的最大的发型宽度。欧洲杯足球竞彩
新的执行器承诺成本低，能够提供可控的力、高分辨率和大位移，适用于手机的射频开关或宽屏电视的光学开关。其他潜在的应用包括微流体泵和阀门，用于纳米级处理的微操作器和原子力显微镜驱动器。
Srinivas A. Tadigadapa博士，电气工程副教授和粘接过程和微致动器的开发商，“这些新的压电微致动器是第一个使用微型制作方法实现的，用于制造计算机芯片和微磁质的成熟技术 -基于材料。我欧洲杯足球竞彩们的新型低温晶片粘合技术，使执行器成为可能的，也可用于其他微电机系统中不同材料的精确集成。“
一篇发表在《微机械与微工程杂志》(JMM)在线版上的论文《柔性拉伸微驱动器的制造与性能》描述了新型驱动器和粘接工艺。该报还将刊登在《JMM》10月份的印刷版上。
作者是Jongpil Cheong，他今年赢得了宾夕法尼亚州博士博士，电气工程博士博士博士，塔迪达加博士和克里斯托弗D. Rahn博士，机械工程教授。
新的致动器由散装PZT的扁平条制成，当施加电压时的市售压电材料，略微缩小，以及精密微机械硅束。当硅束扣作为PZT收缩时，将硅束粘合到PZT放大并将PZT形状变化转换成凸偏转。
在执行器的操作中，硅光束的测量偏转显示了相对于PZT尺寸变化的增益因子为20。
宾夕法尼亚州立大学的研究人员使用光刻和低温焊料来制造他们需要的独特桥形。
Tadigadapa博士说明，“如果你加热太高，那么PZT Depoles。因此，温度至关重要。在这项工作中使用了200℃的低温焊接过程。”
使用他们的新方法，研究人员拥有尺寸的致动器，其长度为350至600微米，宽度为50至100微米（围绕人发的宽度），厚度为5至6微米。
在测试中，致动器显示出良好的重复性，当使用-100V至100V致动时，大约8微米的大振幅行程。在265kHz下测量致动器的带宽。
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