Ellcie行业

电子显微镜需要一个涡轮泵来达到10-7托的高真空。由于涡轮泵的技术原理，它在排气时需要低真空。到目前为止，这种真空是由与涡轮泵平行运行的后备泵(旋转泵)产生的。

为了防止后备泵永久运行，ELLCIE开发了智能真空储液器。这是一个独立的解决方案，可以很容易地实施到任何电子显微镜。智能真空储液器的控制器利用旋转背泵的开关脉冲获得其初始信息。一个精密的真空计监测真空水平在涡轮泵的排气，并保证始终安全的工艺条件。

通过使用型智能真空储存器，背泵的操作时间可降低至90％。与传统的真空系统相比，这导致90％的节能。此外，振动和不健康油雾的产生量高达90％。作为这种新解决方案的正副作用，背泵的寿命得到了显着的延伸。